“河北省微电子超精密加工材料与技术协同创新中心”学术委员会 “河北省微电子专用材料与器件工程研究中心”技术委员会 2021年年会顺利召开

11月27日,“河北省微电子超精密加工材料与技术协同创新中心”学术委员会、“河北省微电子专用材料与器件工程研究中心”技术委员会2021年年会在学院楼会议室顺利举行,本次会议采取线上线下同步进行的方式,校外委员会专家通过线上会议参加。学术委员会成员为中国电子科技集团首席专家林健,中国建筑材料科学研究总院有限公司玻纤院副院长刘辉,中国电子科技集团首席科学家冯志红,北方集成电路技术创新中心总经理康劲,中国电子科技集团公司第五十四研究所产业部处副处长黄靖,复旦大学微电子学院教授屈新萍,天津理工大学科技处处长张楷亮,河北冀雅电子有限公司设备动力部经理杨会然,河北工业大学微电子所所长刘玉岭组成。林健为学术委员会主席。协同中心与工程技术研究中心主任周建伟教授、中心全部骨干教师出席了本次年会,周亚同副院长主持了此次会议。

周亚同副院长介绍了与会专家及参会人员,对专家的参会表示热烈欢迎。周建伟教授做了“河北省微电子超精密加工材料与技术协同创新中心”与“河北省微电子专用材料与器件工程研究中心”的年度报告。

与会专家对两个中心2021年年度报告进行了审议,并对两个中心建设取得的成果给予了充分肯定与高度评价,并对中心的发展提出了建设性意见。

协同创新中心针对微电子超精密加工材料与技术领域国际前沿问题及国家重大需求开展科学研究和协同创新,在国家02科技重大专项“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”联合攻关与国产化、极大规模集成电路化学机械抛光装备及应用、国际化校企合作、创新人才培养模式等方面取得多项成果,尤其在中芯国际的协同应用和国产替代工作有了显著进步,硅衬底抛光液替代了进口产品,提升了协同创新中心在国内外影响力,促进了河北省和全国微电子超精密加工材料与技术相关研究领域的发展。

河北省微电子专用材料与器件工程研究中心近一年来,围绕化学机械超精密加工(CMP)及清洗技术、第三代半导体光电子器件设计及产业化、气敏材料与新型器件及其物联网应用等领域,面向国际前沿问题及国家重大需求开展科学研究,积极服务社会。在平台建设、人才队伍建设、人才培养、科学研究、学术交流与合作和实验室管理等方面工作成效显著。