2023年8月24日，河北工业大学电子信息工程学院的微电子研究所盛情迎接了来自中国电子科技集团公司第十三研究所（中电科13所）副主任商庆杰、及资深工程师张丹青、杨志代表团。本次会议聚焦于MEMS器件中TSV铜化学机械抛光（CMP）项目，展开了富有成效的交流和合作洽谈。微电子研究所的所长罗翀主持了此次会议，电子信息工程学院院长王雨雷、副院长周亚同，以及教师代表杨学莉、齐宇航和曹阳也出席了此次会议。

中电科第十三研究所创立于1956年，1963年迁至河北石家庄市，是国内在半导体研究领域具有庞大规模、雄厚技术实力和全面专业结构的研究机构。该研究所不仅是我国核心电子器件的技术先驱和主要供应基地，还多次在国家重点工程中承担重要任务，并获得了上级多次的表彰和嘉奖。其主要研究方向涵盖微电子、光电子、微电子机械系统（MEMS）、高端传感器和光机电集成微系统等多个领域，同时还涉及电子封装、新型材料和计量检测等基础支撑技术。其中，13所第一专业部是13所最大的半导体芯片研发制造部门。

会议结束后，罗翀所长引领中电科第13所的代表团参观了微电子研究所超精密加工实验室。参观期间，中电科第13所的商庆杰主任高度赞扬了微电子所在科研实力和高端实验设备方面的优势，并对未来双方在技术研发、项目实施和人才培养等方面的合作关系表达了强烈的期望。双方还就钛化学机械抛光项目在技术难点、应用范畴和产业化前景等方面进行了全面和深入的讨论。最终，双方一致认为，此次交流不仅将有力推动两个研究机构在钛化学机械抛光技术方面的合作，而且预计在不远的将来会签署更为全面的合作协议。此次访问被视为是中电科第13所与河北工业大学微电子研究所之间战略合作的重要一步。