河北工业大学电子信息工程学院微电子所科研成果亮相“2025·全球高促会”
时间:2025-04-02 来源: 作者: 访问量:
3月28日-29日,受到北京工业大学科技转移中心的邀请,河北工业大学电子信息工程学院微电子所受邀参加“2025中关村论坛年会·全球高校科技成果转化促进大会”,并参加全球高校科技成果转化主题实物展,讲述从“书架”走上“货架”的经验。
参展展品为原始创新CMP抛光液“和”“先进技术节点CMP晶圆“,该展品是微电子所与中芯北方创新中心组成创新团队,不走“跟随式、仿制式”技术路线,区别于国际商用垄断产品的阻挡层研磨液,实现颠覆金属离子控制,不含BTA绿色环保实现清洁生产,不含双氧水工艺实现高稳定性攻克智能制造瓶颈,采用包括硅溶胶在内的“全国产辅料”保障产业链安全。研发的阻挡层抛光液2022年通过中芯国际MSTR测试,良率达99%以上,多项重要参数优于国际上的Cabot、Fujimi等国际垄断产品。供给ETC检测器件、智能手机摄像头器件终端客户使用无异常。经鉴定为“原始创新,国际先进,部分指标国际领先”。
“先进技术节点集成电路抛光液”项目成果还并入选了“2025中关村论坛年会《全球高校科技成果项目集》”。
展会邀请到诺贝尔奖获得者达尼埃尔·谢赫特曼、贝尔加莫大学塞尔吉奥·卡瓦列里校长、汉城大学李昌远校长、日本工程院唐捷院士进行主旨报告。北京市副市长马骏、国家知识产权局副局长卢鹏起,科技部科技评估中心主任聂飙,国务院发展研究中心国际技术经济研究所所长卢伟,西安交通大学张立群院士,哈尔滨工业大学韩杰才院士、杨德森院士、北京工业大学聂祚仁院士等领导专家出席会议。来自亚洲、欧洲和北美洲的150余所高校、500余家创新企业及全球技术转移机构到会,国际高水平学者、知名高校校长、科技成果转化专家、高级技术经理人、创新科学家、创新企业家将共商成果转化新路径。吸引了包括央视新闻、新京报、北京日报等多家主流媒体报道。
(图文/罗翀)