答辩人1：王万堂  博士研究生

论文题目：单晶碳化硅材料化学机械抛光增效方法及机理研究

指导教师：张保国  教授、博导

答辩人2：车佳漭  博士研究生

论文题目：电流扩展效应对深紫外发光二极管性能影响的研究

指导教师：张紫辉  教授、博导

答辩人3：陈  昕  博士研究生

论文题目：硅基氮化镓电子器件中的缺陷态及其影响机制研究

指导教师：毕文刚  教授、博导

答辩人4：马腾达  博士研究生

论文题目：基于分子模拟的钴阻挡层腐蚀抑制及CMP机理研究

指导教师：檀柏梅  教授、博导

答辩委员会名单

主席：屈新萍  教授、博导    复旦大学

委员：孙晓娟  研究员、博导  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

毕文刚  教授、博导    河北工业大学

檀柏梅  教授、博导    河北工业大学

张紫辉  教授、博导    河北工业大学

张保国  教授、博导    河北工业大学

秘书：石芸慧  讲师、硕导    河北工业大学

答辩时间：2022年5月22日上午8：30开始

答辩地点：河北工业大学北辰校区电子信息工程学院407会议室

线上平台：腾讯会议 (会议号：147503731)

欢迎校内师生交流指导