张德臣，男，汉族，1942年生，政治面貌：中共党员，高级技师。1985年-2002年在校工作。2002年退休，2022年5月去世。微电子所科研团队成员，协助开展科研及产业化项目的实验工作、负责实验室的安全运行并配合研究生的实验工作。曾获“用锗进行硅/硅键合的方法及其制备的硅器件衬底片的制作方法”和“硅/硅键合新技术的研究”等发明专利和省级科研成果。