刘玉岭

性别：男

职称：二级教授

所在部门：微电子所

主讲课程：微电子技术理论

导师类型：博/硕导师

退休时间：2016年10月

研究方向

化学机械超精密加工技术

纳米抛光材料

工作经历

1968年-1974年  河北轻化科技研究所

1974年-1980年  河北工学院半导体材料研究所

1980年-1990年 河北工学院电子系半导体技术与材料研究室

1991年-2022年  河北工业大学电子信息工程学院微电子研究所/所长

2016年-今 河北省微电子超精密加工与材料协同创新中心主任

第九届、十届、十一届全国政协委员。主持国家科技中长期发展规划02重大专项前瞻性应用示范项目“集大规模集成电路平坦化工艺与材料”1项；完成国家重点安全基金项目1项、国家及省部级科技支撑项目30余项、多项已实现产业化；获国家技术发明奖5项、省部级科技发明与进步奖19项，国家科技成果重点推广计划2项，国家级新产品2项，国家发明专利39项、美国发明专利3项；发表论文200余篇，出版专著5部。获国家级有突出贡献中青年专家，全国高校、天津市科技先进工作者，河北高层次拔尖人才，河北省资深省管优秀专家，河北省首届十大发明家，河北省后备院士，天津市劳动模范等荣誉称号。

主要工作及获奖情况

1.  1983年，FNO-MOS型抛光液，国家技术发明四等奖

2.  1987年，硅外延BC技术，国家技术发明三等奖

3.  1990年，硅片无磨料均腐蚀FA/O抛光液，国家技术发明三等奖

4.  1990年，硅器件衬底片滑移线消除技术，国家技术发明四等奖

5.  1999年，用化学方法提高固体表面光洁度的研究及应用，国家技术发明三等奖

6.  1993年，硅器件与外延材料关系的研究，河北省科技进步二等奖

7.  1997年，FA/O高纯多功能界面活性剂的研究及在微电子中应用，天津市科学技术进步二等奖

8.  2002年，超大规模集成电路纳米磨料化学机械全局平面化新技术，天津市技术发明一等奖

9.  2006年，固定表面高精密加工技术及专用纳米材料，天津市技术发明二等奖

10. 2013年，河北省科学技术突出贡献奖，河北省科学技术突出贡献奖

11. 2013年，多羟多胺螯合剂在ULSI化学机械平坦化中的应用，天津市技术发明三等奖

12. 2015年，极大规模集成电路平坦化工艺与材料，天津市技术发明三等奖

13. 2018年，河北工业大学“工大双献之星”

14. 2019年，中华人民共和国成立70周年共和国勋章