孙鸣

性别：男

职称：讲师

职务或社会兼职：

邮箱：sunm@hebut.edu.cn

所在部门：微电子所

主讲课程：创业基础

导师类型：硕士生导师

研究方向

微电子技术与材料

抛光材料纳米尺度计算

教育背景及工作经历

1999年~2003年 燕山大学电子信息工程专业，本科

2004年~2007年 河北工业大学微电子学与固体电子学专业，硕士

2009年~2012年 河北工业大学大学微电子学与固体电子学专业，博士

2009年~今   任职于河北工业大学电子信息工程学院

学术论文

1.Effect of Cystine in Alkaline CMP Slurry on Controlling the Galvanic Corrosion at Al-Co Interface,ECS Journal of Solid State Science and Technology,2019

2.Effect of Glycine and TT-LYK in Alkaline CMP Slurry on Controlling the Galvanic Corrosion at Al-Co Interface,ECS Journal of Solid State Science and Technology,2019

3.Effect of pH Value and Glycine in Alkaline CMP Slurry on the Corrosion of Aluminum by Electrochemical Analysis,ECS Journal of Solid State Science and Technology,2019

4. Electrochemical and surface analysis of the chemical induced defects with aluminum gate CMP,中国国际半导体技术大会（CSTIC），2019

5.Study on the Mechanism of Micro-Defect Reduction during Si Final Polishing with Water-Soluble Polymers,ECS Journal of Solid State Science and Technology,2018

6.新型碱性清洗液对铝栅CMP后硅溶胶的去除,微纳电子技术,2017

科研项目

1. 国家自然科学基金项目：CMOS后形成栅极铝平坦化与电化学腐蚀抑制机理研究（编号：NSFC61504037）

2.国家级项目，国家科技部重大专项，集成电路碱性抛光液与清洗液的研发（编号：2016ZX02301003-004-007，2016-2020；

3. 国家级项目，国家科技部重大专项，极大规模集成电路平坦化工艺与材料”项目“CMP碱性纳米磨料抛光液研发，编号：2009ZX02308-001，2009-2012；

获奖情况