5月20日关于王东伟等硕士研究生答辩的公告
时间：2025-05-19 来源： 作者： 访问量：
答辩时间：2025年5月20日（星期二）8:00
答辩地点：微电子所202会议室
答辩委员会：檀柏梅（主席） 王胜利 （教授）何彦刚 （副研究员）杨学莉 （副教授）孙鸣（讲师）
朱梦雅 （讲师）
秘 书：齐宇航（讲师）
答辩顺序：
序号 |
答辩人 |
专业 |
论文题目 |
备注 |
1 |
王东伟 |
新一代电子信息技术(含量子技术等) |
新型CeO2/SiO2复合磨料的制备及其在集成电路SiO2层级介质的CMP应用 |
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2 |
赵悦琦 |
新一代电子信息技术（含量子技术等） |
集成电路钨CMP速率与表面质量控制的研究 |
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3 |
韩欣宇 |
电子科学与技术 |
基于CeO2磨料的SiO2/Si3N4 CMP及后清洗机理研究 |
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4 |
刘人豪 |
电子科学与技术 |
唑类缓蚀剂在铜及其氧化物表面吸附机理及清洗研究 |
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5 |
翟乐 |
新一代电子信息技术 |
MEMS器件铜/钛CMP速率选择性及腐蚀抑制机理研究 |
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6 |
齐美玲 |
新一代电子信息技术（含量子技术等） |
磷化铟CMP抛光液组分研究及机理分析 |
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7 |
刘雯露 |
新一代电子信息技术(含量子技术等) |
ZnFe2O4基二元金属氧化物气敏材料设计及气体传感器研究 |
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8 |
聂申奥 |
新一代电子信息技术（含量子技术等） |
基于纳米CeO2磨料STI CMP抛光液高选择性及稳定性机理的研究 |
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9 |
胡政 |
电子科学与技术 |
MOF衍生的NiO敏感材料的制备及气体传感器研究 |
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10 |
张亚林 |
电子科学与技术 |
ZnO基气体传感器的制备及性能提升机制研究 |
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11 |
邱宇轩 |
电子科学与技术 |
用于先进封装工艺的晶圆背面减薄抛光液的研究 |
电子信息工程学院
2025年5月19日