5月21日关于赵家栋等硕士研究生答辩的公告

答辩时间:2026521日(星期四)13:30

答辩地点:微电子所202会议室

答辩委员会:檀柏梅(教  授)、王胜利(教  授)、何彦刚(副研究员)、高宝红(副研究员)

 (副教授)、石芸慧(副教授)

答辩秘书:周佳凯(博士、讲师)

 

答辩顺序:

序号

答辩人

专业

论文题目

备注

1

赵家栋

电子科学与技术

钌基阻挡层CMP中的氧化/络合机理与控制研究


2

赵新雨

电子科学与技术

添加剂和CeO2磨料在介质表面的协同作用机理及控制


3

徐遥

电子科学与技术

二维MoB/Ni3S2基非对称超级电容器的制备及滤波性能研究


4

刘义鑫

电子科学与技术

基于扫描电子显微镜的二硫化钼成像研究及其晶界演化分析


5

郭永康

电子科学与技术

集成电路多晶硅薄膜微区平坦化控制机理研究


6

张丽红

电子科学与技术

基于Ag/CeO2磨料对碳化硅光催化化学机械抛光的机理研究


7

戈延超

新一代电子信息技术(含量子技术等)

SOI CMP中氧化层薄膜与硅薄层平坦化控制研究


8

胡西联

新一代电子信息技术(含量子技术等)

pMOS器件锗沟道CMP速率及表面质量控制研究


9

王勇鑫

新一代电子信息技术(含量子技术等)

非球形氧化铈磨料的可控构筑及其对SiO2CMP作用机制


10

于碧波

新一代电子信息技术(含量子技术等)

氧化铈及其掺杂磨料对SiO2 CMP的研究


 

 

 

电子信息工程学院

2026515