5月20日关于陈康等硕士研究生答辩公告
时间：2026-05-15 来源： 作者： 访问量：
答辩时间：2026年5月20日（星期三）8:30
答辩地点：微电子所202会议室
答辩委员会：张保国(主席、教授) 周建伟(教授) 牛新环(教授)
杨学莉(教授) 王如(高级实验师) 高宝红（副研究员)
答辩秘书：朱梦雅（讲师）
答辩顺序：
序号 |
答辩人 |
专业 |
论文题目 |
1 |
陈康 |
新一代电子信息技术（含量子技术等） |
氧化铈复合磨料的制备以及对石英玻璃化学机械抛光效率的研究 |
2 |
朱毓 |
电子科学与技术 |
玻璃通孔化学机械抛光的性能及机理研究 |
3 |
梁哲 |
新一代电子信息技术（含量子技术等） |
硫化镉晶片化学机械抛光的工艺及机理研究 |
4 |
张庆祝 |
电子科学与技术 |
用于N-InP CMP的抛光液及其电化学腐蚀作用研究 |
5 |
郑雯雯 |
新一代电子信息技术（含量子技术等） |
用于金属光栅的TEOS去除速率控制与平坦化机理研究 |
6 |
付世恭 |
电子科学与技术 |
高性能射频器件磷化铟衬底精抛工艺与技术研究 |
7 |
赵霞 |
新一代电子信息技术（含量子技术等） |
Fe2O3基金属氧化物材料的设计及气敏性能研究 |
8 |
宋家坤 |
电子科学与技术 |
铜互连钼阻挡层材料抛光液组分优化及抛光机理研究 |
9 |
王月鹏 |
新一代电子信息（含量子技术等） |
单晶InP抛光液组分优化及表面质量研究 |
10 |
贺越 |
电子科学与技术 |
钴阻挡层铜互连CMP中抑制剂吸附与电偶腐蚀控制的研究 |
11 |
王建树 |
新一代电子信息技术（含量子技术等） |
钴金属布线CMP抛光液中络合优化与作用机理研究 |
12 |
李坤 |
新一代电子信息技术（含量子技术等） |
ZnAl-LDHs 基气体传感器的制备及性能提升机制研究 |
电子信息工程学院
2026年5月20日