学科专业：电子科学与技术

论文题目：基于纳米二氧化硅磨料的CMP机理研究与应用分析

指导教师：李薇薇副教授

答 辩 人：梁  振

答辩委员会

主席：赵红东  教  授  河北工业大学

委员：徐晓辉  研究员  河北工业大学

      刘立新  副教授  西安电子科技大学

刘照虹  副教授  河北工业大学

吕家琪  讲  师  河北工业大学

秘书：韩力英  副教授  河北工业大学

答辩时间：2020年6月8日（星期一）19：00—20：00

答辩平台：腾讯会议

欲参加会议的相关专业师生请至少提前1天与答辩秘书（邮箱：lizhi_han@hebut.edu.cn或电话：13820879643）联系，获取进入会议的方法。