吕志伟教授致欢迎词，对专家的参会表示热烈欢迎。周亚同副院长主持会议，并介绍了与会专家及参会人员。周建伟教授做了“河北省微电子超精密加工材料与技术协同创新中心”与“河北省微电子专用材料与器件工程研究中心”的年度报告。

与会专家对两个中心2022年年度报告进行了详细审议，对两个中心建设取得的成果给予了充分肯定与高度评价,并对中心的发展提出了建设性意见。

河北省微电子超精密加工材料与技术协同创新中心近一年来在平台建设、人才队伍建设、学生工程素质培养、科学研究、学术交流与合作和实验室管理等方面取得了显著成绩。针对微电子超精密加工材料与技术领域国际前沿问题及国家重大需求开展科学研究和协同创新，在国家02科技重大专项“平坦化材料与技术”联合攻关与国产化、极大规模集成电路化学机械抛光装备及应用、国际化校企合作、创新人才培养模式等方面取得多项成果，尤其在与中芯国际的协同应用和国产替代工作有了显著进步，国家02科技重大专项“平坦化材料与技术攻关与国产化”在中芯国际通过MSTR测试，应用到整机成品率达99%以上，技术成熟程度可以在芯片制造业大规模应用，产品性能指标超过进口商用产品。提升了协同创新中心在国内外影响力，促进了河北省和全国微电子超精密加工材料与技术相关研究领域的发展。

河北省微电子专用材料与器件工程研究中心近一年来，围绕化学机械超精密加工（CMP）及清洗技术、第三代半导体光电子器件设计及产业化、气敏材料与新型器件及其物联网应用等领域，面向国际前沿问题及国家重大需求开展科学研究，积极服务社会。在推动科研转化、学科建设、人才培养三位一体建设等方面工作成效显著。