2017年河北工业大学电子信息工程学院--理学仪器XRD纳米薄膜专题讲座与研讨会随着薄膜材料外延技术的发展 ,研究各类薄膜材料需要对它们的结构进行精确分析。X 射线衍射技术(XRD)作为当前广泛使用的、便捷的结构分析手段 ,在半导体材料分析中具有重要的作用。正确地运用 XRD 技术及仪器 , 可方便地得到与材料结构相关的信息。 可反映较大面积薄膜的结构性质的平均效应。近年来 , 在 薄膜XRD 方面的工作开展得较为充分,分析技术在理论上不断有创新和改进之处 ,仪器测量精度也进一步提高,更有助于研究者综合运用 XRD 技术对薄膜的各方面结构性质进行分析。理学公司是生产X射线科学分析仪器的专业厂家,半个多世纪以来一直致力于研制和开发X射线科学分析仪器,为该领域的技术发展做出了重要贡献。
一、讲座专家简介
李宁博士,理学公司衍射部门首席应用支持专家。2010年毕业于中国科学院福建物质结构研究所,博士。2011年加入安捷伦科技,2015年加入理学公司。至今已有12年的衍射应用研究经验。
二、讲座内容
第一部分:薄膜测试的基本原理(李宁博士)
衍射仪的光路如何配置
衍射几何(In-plane面内测量技术)
第二部分:二维矩阵探测器在薄膜领域的应用(小林先生,李宁博士)
二维探测器 膜厚的测试方法的研究与拓展(反射率)
二维探测器测试方法的研究与拓展
二维探测器进行广域RSM的测试研究
2D极图的测试研究
三、时间安排
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