2022年5月19日硕士研究生答辩公告
时间：2022-05-18 来源： 作者： 访问量：
答辩时间：2022年5月19日（星期二）8:30~13：30
答辩地点：河北工业大学红桥校区南院微电子所202会议室
线上平台: 腾讯会议 会议号：973 846 341
答辩委员会： 张保国(教授) 周建伟(教授) 王胜利(教授) 檀柏梅(教授)
王如(高级实验师) 孙鸣(讲师) 黄丽(讲师)
答辩顺序：
序号 |
答辩人 |
专业 |
论文题目 |
1 |
李烨 |
电子科学与技术 |
钽酸锂晶片化学机械抛光速率及表面粗糙度的研究 |
2 |
田源 |
电子科学与技术 |
集成电路铜互连钌基阻挡层平坦化及界面腐蚀抑制机理的研究 |
3 |
雷双双 |
电子科学与技术 |
集成电路钴互连粗抛高低差及去除速率控制机理研究 |
4 |
郑晴平 |
电子科学与技术 |
硅通孔铜层化学机械抛光去除速率与表面质量的研究 |
5 |
李浩然 |
电子与通信工程 |
铜互连钴阻挡层电偶腐蚀及碱性抛光液稳定性的研究 |
6 |
续晨 |
电子与通信工程 |
STI化学机械抛光HDP/Si3N4速率选择性及平坦化机理的研究 |
7 |
李森 |
电子与通信工程 |
铜基3D微同轴铜/光刻胶抛光液及其平坦化机理的研究 |
8 |
王亚珍 |
电子与通信工程 |
抑制剂与颗粒在铜互连表面吸附的相互作用机理及去除 |
9 |
赵立仕 |
电子与通信工程 |
阻挡层钴CMP过程点蚀电化学行为与控制机理 |
电子信息工程学院
2022年5月18日